Hver eru hálfleiðarplastið og forrit þeirra

Flís er mikilvægur grunnþáttur í upplýsingatækniiðnaðinum, nú, „skortur á kjarna“ hefur áhrif á þróun fjölda alþjóðlegra vísinda- og tækniiðnaðar. Flíframleiðsluferli er mjög flókið, minnist á hálfleiðara framleiðslu, við höfum tilhneigingu til að einbeita okkur að kísilþurrkum, rafrænu sérstöku gasi, ljósmyndum, ljósritunarmönnum, markmiðum, efnum og öðru efni og tengdum búnaði.

Í öllu hálfleiðara ferlinu er hlutverk plastefna aðallega umbúðir og smit, tengir hvert ferli, kemur í veg fyrir mengun og skemmdir, hámarka mengunarstjórnun og bæta afrakstur helstu hálfleiðara ferla. Plastefni sem notað er eru PP, ABS, PVC, PBT, PC, PPS, flúorplastics, PEEK, PAI, COP osfrv., Og með stöðugri þróun hálfleiðara tækni eru afköst kröfur um efnin einnig sífellt mikil.

Hérna er að skoða hvernig þessi plast er notuð í hálfleiðara framleiðslu frá lykilferli hálfleiðara, þar með talið efna- og vélrænni fægingu á skífum, hreinsun á skífu, ljósritun, æting, jónígræðslu, umbúðum og prófunum og umbúðum.

1. Hreinsa herbergi

Hálfleiðari framleiðslu frá stakri kristal kísilþurrkaframleiðslu, til IC framleiðslu og umbúða, þarf öll að vera lokið í hreinu herberginu og til að hreinleika kröfanna er mjög mikil. Hreinsiefni eru yfirleitt eldþolin og ekki auðvelt að framleiða rafstöðueiginleika aðsogsins er aðal. Einnig er krafist að gluggaefni séu gagnsæ.

Efni: And-truflanir PC, PVC

2. CMP festingarhringur

Chemical Mechanical Maling (CMP) er lykilferli tækni í framleiðsluferlinu, CMP festingarhringur er notaður til að laga skífuna, skífuna í mala ferlinu, valið efni ætti að hafa góða slitþol, víddarstöðugleika, efnafræðilegu viðnám, auðvelt Til að vinna úr, til að forðast yfirborð skífunnar / skífunnar rispur, mengun.

Efni: PPS, Peek

3.Wafer Carrier

Bifreiðafyrirtæki eins og nafnið gefur til kynna er notað til að hlaða skífur, það eru skífubifreiðar kassi, flutningskassi með skífu, skífubát og svo framvegis. Skífur sem eru geymdar í flutningatíma flutningskassans í öllu framleiðsluferlinu eru hátt hlutfall af skífukassanum sjálfum, efnið, gæði og hreint eða ekki geta haft meiri eða minni áhrif á gæði skaffanna.
Gafberar eru yfirleitt hitastig viðnám, framúrskarandi vélrænni eiginleikar, víddarstöðugleiki og harðgerandi, and-truflanir, lágt losun gas, lítil úrkoma, endurvinnanleg efni, mismunandi ferlar sem notaðir eru í valnum efnum sem eru valnir á þurrkum eru mismunandi.

Efni eru: PFA, PP, PEEK, PES, PC, PEI, COP osfrv., Sem eru almennt breytt með and-truflanir eiginleika.

Fluoroplastic, skífukörfu

Wafer Box, PBT

PES Wafer kassar

4, Crystal Boat handfang

Crystal Boat handfang í hálfleiðara ferli, í efnasýru, basískan etsunarferli, Crystal Boat þarf að treysta á handfangið til að klemmast.

Efni: PFA

5. Handvirk opnari

Hægt er að nota framan opnun Wafer Transfer Box (FOUP) handvirkt opnara, sérstaklega notaður til að opna útidyr FOOUP, í takt við hálf 300 mm forskrift Foup. Efnið er yfirleitt leiðandi verkfræðiplastefni.

6. Light Mask Box

Photomask er grafískur meistari sem notaður er í ljósritunarferli flísarframleiðslu, með kvarsgleri sem undirlaginu og húðað með króm málmgrímu, með því að nota útsetningarregluna, er ljósgjafanum spáð í gegnum ljósritunina að kísilplötunni. sérstakt mynstur. Sérhver ryk eða rispur sem fest eru við ljósritunina munu valda rýrnun á gæðum áætlaðrar myndar, svo það er nauðsynlegt að forðast mengun ljósritunarinnar, svo og forðast agnir sem myndast við árekstur eða núning osfrv. Photomask.

Til að forðast þoku, núning eða tilfærslu á grímunni er grímukassinn venjulega gerður úr and-truflun, lágum útlagi og endingargóðum efnum.

Efni: And-truflanir BAS, and-truflanir PC, and-truflanir, PP, ETC.

7. Verkfæri

Verkfæri sem notuð eru til að klemma skífur eða kísilþurrkur, svo sem skífuklemmur, tómarúmsogpenna osfrv. Þegar klemmdir eru skífur, munu efnin sem notuð eru ekki klóra yfirborð skífunnar, engar leifar, til að tryggja yfirborðshreinsun skífunnar.

Efni: Peek

8. Efnafræðilegir / rafræn gasflutningur og geymsla

Hálfleiðari framleiðsluferli, svo sem hreinsun á þak, ætingu osfrv. Að stórum fjölda rafræns lofttegunda, eru flest þessara efna mjög ætandi, svo að pípur, dælur og lokar notaðir til flutninga og geymslu, geymsluílát og aðra íhluti eða Fóðrunarefni sem þarf til að hafa framúrskarandi efnafræðilega tæringarþol, litla úrkomu, til að tryggja að mjög ætandi efni í framleiðslu flísarframleiðslu muni ekki menga öfgafullt umhverfi.

Efni: PTFE, PFA, PVDF, ETFE, PEI

9. Gas síuhylki

Hálfleiðari ferli Sérstök gassíun skothylki er notuð til að fjarlægja óhreinindi, bæta hreinleika, svo að vernda afrakstur flísarframleiðslu. Notaðu almennt háhitaþol, tæringarþol, lítið úrkomuefni.

Síuþátturinn er gerður úr PTFE og stuðningsefni beinagrindarinnar er úr PFA.

10. Leiðbeiningar, leiðbeiningar teinar og aðrir íhlutir

Hálfleiðari vinnslubúnaðaríhlutir eins og legur, leiðar teinar osfrv. Krefjast stöðugrar notkunar við lágt til hátt hitastig, lágt slit og lítill núningur, víddarstöðugleiki og framúrskarandi rofþol í plasma og útblásturseinkenni.

Efni: Polyimide Pi

11.Semiconductor pakkapróf

Próf fals er bein hringrás hálfleiðara íhlutanna sem eru rafræn tengd við prófunartækið á tækinu, mismunandi prófunarstuðlar eru notaðir til að prófa samþætta hringrásarhönnuðina sem tilgreindir eru með ýmsum örflögu. Efnin sem notuð eru við prufu innfyllra ættu að uppfylla kröfur um góðan víddarstöðugleika yfir breitt hitastigssvið, vélrænan styrk, litla burr myndun, endingu og auðvelda vinnslu.

Efni: Peek, Pai, PI, PEI, PPS