Hvað er besta efnið til að nota fyrir CMP festingarhring

Hvert er besta efnið til að nota fyrir CMP stoðhring?

Kísilþurrkur eru kísilþurrkur sem notaðir eru við framleiðslu á kísil hálfleiðara hringrásum og síðan vélrænni fægi ferli í framleiðsluferli kísilþurrkanna og er mjög mikilvægur hlekkur, við heyrum venjulega nokkra tommur af skífum, sem táknar stærri þvermál The þvermál hinnar Silicon Wifer, því betra sem árangur þessa kísilþurrkunar, því sterkari er útfærsla tæknilegs styrks, þannig að í framleiðsluferli skífanna hefur ávöxtunarhlutfallið orðið mjög mikilvægt ástand, sem fyrir yfirborðsfægð Fægja ferli er einnig að verða meira og flóknari, þannig að fægja ferlið til að nota fullkominn þroskaðan CMP fastan hring

Meðan á fægðarferlinu stendur verður CMP stoðhringurinn að halda skífunni meðan á fægingu ferli stendur. Meðan á fægingu ferli er bætt við mismunandi efnum og þessir vökvar geta tært fágaða íhlutina, þannig að það krefst þess að CMP festihringurinn geti staðist ákveðið vélrænt álag, góðan sveigjanleika og tæringarþol og önnur einkenni.

Til að draga saman, til að framleiða CMP festingarhringa, þurfum við örgjörva til að hafa mjög mikla vinnslu nákvæmni og víddarstöðugleika til að draga úr rispum á skífum seinna.

Venjulega veljum við tvö sérstök verkfræðiplastefni: PPS og gægjast til að vinna úr og framleiða CMP festingarhringa.

PPS efni einkennist af mikilli slitþol, góðri efnaþol og leysiviðnám, svo og góðir núningseiginleikar, há-sólar hreint tegund af efni, mun ekki menga skífuna, samanborið við Peek CMP fastan hring, pps CMP fastan hringkostnað er Lægra og hefur myndað fullkomna iðnaðarkeðju með fjölskyldunni undirstrikar kostnaðarárangur.

Peek CMP festingarhringur hefur hærri núningstuðul, samanborið við PPS CMP festingarhring núningsafköst er framúrskarandi, hefur víðtækari og stöðugan efnaþol, breiðara svið háhitaþols, þannig að PEEK CMP festingarhringur í langri- Hugtakið hástyrkt vinnsluumhverfi stöðugra, á hlutfallslegum tíma, sömu vinnuaðstæður, lengur, en kostnaðurinn verður einnig hærri miðað við suma.